Πώς λειτουργεί το Magnetron Sputtering;
Η εκτόξευση μαγνητρονίων είναι μια μέθοδος φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), μια κατηγορία διαδικασιών εναπόθεσης κενού για την παραγωγή λεπτών μεμβρανών και επικαλύψεων.
Το όνομα "sputtering μαγνητρονίου" προέρχεται από τη χρήση μαγνητικών πεδίων για τον έλεγχο της συμπεριφοράς των σωματιδίων φορτισμένων ιόντων στη διαδικασία εναπόθεσης διασκορπισμού μαγνητρονίου.Η διαδικασία απαιτεί θάλαμο υψηλού κενού για τη δημιουργία περιβάλλοντος χαμηλής πίεσης για ψεκασμό.Το αέριο που περιλαμβάνει το πλάσμα, τυπικά αέριο αργό, εισέρχεται πρώτο στον θάλαμο.
Μια υψηλή αρνητική τάση εφαρμόζεται μεταξύ της καθόδου και της ανόδου για να ξεκινήσει ο ιονισμός του αδρανούς αερίου.Τα θετικά ιόντα αργού από το πλάσμα συγκρούονται με το αρνητικά φορτισμένο υλικό στόχο.Κάθε σύγκρουση σωματιδίων υψηλής ενέργειας μπορεί να προκαλέσει την εκτίναξη ατόμων από την επιφάνεια στόχου στο περιβάλλον κενού και την προώθηση στην επιφάνεια του υποστρώματος.
Ένα ισχυρό μαγνητικό πεδίο παράγει υψηλή πυκνότητα πλάσματος περιορίζοντας τα ηλεκτρόνια κοντά στην επιφάνεια στόχο, αυξάνοντας τον ρυθμό εναπόθεσης και αποτρέποντας τη ζημιά στο υπόστρωμα από βομβαρδισμό ιόντων.Τα περισσότερα υλικά μπορούν να λειτουργήσουν ως στόχος για τη διαδικασία ψεκασμού, καθώς το σύστημα ψεκασμού μαγνητρονίων δεν απαιτεί τήξη ή εξάτμιση του υλικού πηγής.
Παράμετροι προϊόντος
Όνομα προϊόντων | Στόχος καθαρού τιτανίου |
Βαθμός | Gr1 |
Καθαρότητα | Περισσότερα 99,7% |
Πυκνότητα | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 κομμάτια |
Καυτό μέγεθος πώλησης | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Εφαρμογή | Επίστρωση για μηχανή PVD |
Μέγεθος αποθέματος | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Άλλοι διαθέσιμοι στόχοι | Μολυβδαίνιο (Mo) Chrome(Cr) TiAl Χαλκός (Cu) Ζιρκόνιο (Zr) |
Εφαρμογή
■Επικάλυψη ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
■Οθόνες επιφανειακών πάνελ επίπεδων πάνελ και άλλων εξαρτημάτων.
■Διακόσμηση και επίστρωση γυαλιού κ.λπ.
Τι προϊόντα μπορούμε να παράγουμε
■Επίπεδος στόχος τιτανίου υψηλής καθαρότητας (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Τυπική σύνδεση με σπείρωμα για εύκολη εγκατάσταση (M90, M80)
■Ανεξάρτητη παραγωγή, προσιτή τιμή (ελεγχόμενη ποιότητα)
Πληροφορίες Παραγγελίας
Οι ερωτήσεις και οι παραγγελίες πρέπει να περιλαμβάνουν τις ακόλουθες πληροφορίες:
■ Διάμετρος, Ύψος (όπως Φ100*40mm).
■ Μέγεθος νήματος (όπως M90*2mm).
■ Ποσότητα.
■ Απαίτηση καθαρότητας.