Η μέθοδος εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων είναι ένα είδος επικάλυψης εξάτμισης υπό κενό, που χρησιμοποιεί δέσμες ηλεκτρονίων για να θερμάνει απευθείας το υλικό εξάτμισης υπό συνθήκες κενού, να εξατμίσει το υλικό εξάτμισης και να το μεταφέρει στο υπόστρωμα και να συμπυκνωθεί στο υπόστρωμα για να σχηματίσει ένα λεπτό φιλμ. Στη συσκευή θέρμανσης με δέσμη ηλεκτρονίων, η θερμαινόμενη ουσία τοποθετείται σε ένα υδρόψυκτο χωνευτήριο, το οποίο μπορεί να αποφύγει την αντίδραση μεταξύ του υλικού εξάτμισης και του τοιχώματος του χωνευτηρίου και να επηρεάσει την ποιότητα του φιλμ. Στη συσκευή μπορούν να τοποθετηθούν πολλαπλά χωνευτήρια για να επιτευχθεί ταυτόχρονη ή ξεχωριστή εξάτμιση και εναπόθεση διαφόρων ουσιών. Με την εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων, μπορεί να εξατμιστεί οποιοδήποτε υλικό.
Η εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων μπορεί να εξατμίσει υλικά με υψηλό σημείο τήξης. Σε σύγκριση με την εξάτμιση θέρμανσης γενικής αντίστασης, έχει υψηλότερη θερμική απόδοση, μεγαλύτερη πυκνότητα ρεύματος δέσμης και μεγαλύτερη ταχύτητα εξάτμισης. Φιλμ και φιλμ από διάφορα οπτικά υλικά όπως αγώγιμο γυαλί.
Το χαρακτηριστικό της εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων είναι ότι δεν καλύπτει ή σπάνια καλύπτει τις δύο πλευρές της τρισδιάστατης δομής του στόχου και συνήθως εναποτίθεται μόνο στην επιφάνεια στόχο. Αυτή είναι η διαφορά μεταξύ της εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων και της διασκορπισμού.
Η εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων χρησιμοποιείται συνήθως στον τομέα της έρευνας και της βιομηχανίας ημιαγωγών. Η επιταχυνόμενη ενέργεια ηλεκτρονίων χρησιμοποιείται για να χτυπήσει τον υλικό στόχο, προκαλώντας την εξάτμιση και την άνοδο του υλικού στόχου. Τελικά κατατέθηκε στον στόχο.
Ώρα δημοσίευσης: Δεκ-02-2022