Μεταλλικός περιστροφικός στόχος
Τα ορθογώνια μαγνητικά και ηλεκτρικά πεδία εφαρμόζονται μεταξύ του στόχου ψεκασμού (κάθοδος) και της ανόδου.Και γεμίστε το απαιτούμενο αδρανές αέριο (συνήθως αέριο Ar) στον θάλαμο υψηλού κενού.Υπό τη δράση ενός ηλεκτρικού πεδίου, το αέριο Ar ιονίζεται σε θετικά ιόντα και ηλεκτρόνια.Μια ορισμένη αρνητική υψηλή τάση εφαρμόζεται στον στόχο, τα ηλεκτρόνια που εκπέμπονται από τον στόχο επηρεάζονται από το μαγνητικό πεδίο, η πιθανότητα ιονισμού του αερίου που λειτουργεί αυξάνεται, ένα πλάσμα υψηλής πυκνότητας σχηματίζεται κοντά στην κάθοδο και τα ιόντα Ar επηρεάζονται από τη δύναμη του Λόρεντς.Στη συνέχεια, επιταχύνετε για να πετάξετε στην επιφάνεια στόχο και βομβαρδίστε την επιφάνεια στόχου με υψηλή ταχύτητα, έτσι ώστε τα διασκορπισμένα άτομα στον στόχο να ακολουθούν την αρχή της μετατροπής της ορμής, να πετάξουν από την επιφάνεια στόχο στο υπόστρωμα και να εναποθέσουν ένα φιλμ υψηλής κινητικής ενέργειας.
Προκειμένου να βελτιωθεί περαιτέρω ο ρυθμός χρήσης του υλικού στόχου, σχεδιάζεται μια περιστρεφόμενη κάθοδος με υψηλότερη απόδοση χρήσης και ένα σωληνοειδές υλικό στόχος χρησιμοποιείται για την επίστρωση με ψεκασμό.Η βελτίωση του εξοπλισμού εκτόξευσης απαιτεί την αλλαγή του στόχου από επίπεδο σχήμα σε σωληνοειδές σχήμα και ο ρυθμός χρήσης του σωληνοειδούς περιστρεφόμενου στόχου μπορεί να φτάσει το 70%, πράγμα που λύνει σε μεγάλο βαθμό το πρόβλημα της χαμηλής χρήσης του επίπεδου στόχου.
Όνομα προϊόντων | Μεταλλικός περιστροφικός στόχος |
Υλικό | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Καυτό μέγεθος πώλησης | ID-133/ OD-157x 3191 χλστ ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Μπορεί επίσης να υποβληθεί σε επεξεργασία σύμφωνα με τις συγκεκριμένες απαιτήσεις των πελατών |
MOQ | 3 κομμάτια |
Πακέτο | Ξύλινη θήκη |
Εφαρμογή
Το Sputtering Coating είναι ένας νέος τύπος μεθόδου επίστρωσης με φυσικό ατμό.Σε σύγκριση με τη μέθοδο επίστρωσης με εξάτμιση, έχει προφανή πλεονεκτήματα.
σε πολλές πτυχές.Οι στόχοι εκτόξευσης μετάλλων έχουν χρησιμοποιηθεί σε πολλούς τομείς.Η κύρια εφαρμογή του περιστρεφόμενου στόχου.
■Ηλιακά κύτταρα
■Αρχιτεκτονικό γυαλί
■Γυαλί αυτοκινήτου
■Ημιαγωγός
■Τηλεόραση επίπεδης οθόνης κ.λπ
Πληροφορίες Παραγγελίας
Οι ερωτήσεις και οι παραγγελίες θα πρέπει να περιλαμβάνουν τις ακόλουθες πληροφορίες:
☑Προδιαγραφή στόχου ID×OD×L (mm).
☑Απαιτούμενη ποσότητα.
☑Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες ειδικές ανάγκες.